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FABRICACIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE CAPAS DE DIELÉCTRICOS DE ALTA PERMITIVIDAD DEPOSITADAS POR ALD SOBRE SISLICIO Y SOBRE GRAFENO . Equipo Investigadores: CASTAN LANASPA, MARIA HELENA (IP); GOMEZ BRAVO, ALFONSO; GARCIA GARCIA, HECTOR; PEREZ DIEZ, EDUARDO; BAILON VEGA, LUIS ALBERTO; DUEÑAS CARAZO, SALVADOR. TEC2011-27292-C02-01. Entidades Participantes: UNIVERSIDAD DE VALLADOLID (UVa). Entidades Financiadoras: MICINN. MINISTERIO DE CIENCIA E INNOVACIÓN . 01/01/2012-31/12/2015

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